SMD500-16供氣面板 高純氣體需要質(zhì)量的減壓器
能否將高純氣體送至用氣點仍保持合格的質(zhì)量，不僅對供氣系統(tǒng)的規(guī)劃、設(shè)計、施工安裝、驗收測試到運(yùn)營各個階段有十分嚴(yán)格的要求，而且對高純氣體供氣系統(tǒng)中的輸送氣路和合類閥門的材質(zhì)和選用有嚴(yán)格要求。
為了確保終端用氣點性能的穩(wěn)定，不僅需要保持氣體壓力的穩(wěn)定性和連續(xù)的流量，而且需要有良好的保護(hù)措施防止氣體使用端的污染。 高性能的單級減壓器
進(jìn)氣壓力40bar.
出氣壓力范圍0.1-2.2bar/1.5-33psi
材質(zhì)
經(jīng)特殊清洗和電拋光的不銹鋼316L(1.4404)或黃銅2.0401.26
密封材質(zhì)
閥座:不銹鋼減壓閥中采用FKM和FFKM，黃銅減壓閥采用FKM和EPDM閥體密封:不銹鋼減壓閥中采用PCTFE，黃銅減壓閥采用PVDF。材料選擇根據(jù)氣體特性和純度要求，材質(zhì)說明參照“技術(shù)參數(shù)”。
內(nèi)部零件
低維護(hù)要求，界面友善的減壓器單元，閥門進(jìn)氣處帶精度10um的過濾網(wǎng)
膜片
采用哈氏金膜片，具有高防爆、耐腐蝕的優(yōu)點 SMD500-16供氣面板 |
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